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環??照{-冷風機-降溫設備展會
半導體生產車間,整體控溫降溫工程項目
返回列表 來源: 發布日期: 2025.05.19

       某半導體制造基地2600平方米生產車間內,精密儀器持續運轉產生的熱量與人員作業產生的濕熱負荷疊加,夏季室內溫度常突破35 。這種高溫環境直接影響光刻、蝕刻等核心工藝的穩定性,傳統中央空調系統因控溫精度不足、能耗偏高,始終無法滿足半導體生產車間±1℃的溫控要求。

半導體生產車間整體控溫降溫,應用工業蒸發冷省電空調臥式射流機

半導體生產車間整體控溫降溫,應用工業蒸發冷省電空調臥式射流機

       項目工程經理通過實地勘測與熱負荷計算,為該車間量身定制分布式溫控解決方案。19蒸發冷省電空調 -臥式射流機被科學分布于車間四周墻壁上 ,設備選用低風阻射流送風結構機型,通過6 /秒的平拋氣流實現遠距離溫度覆蓋,避免冷風直吹操作崗位造成不適。機組搭載的智能控制系統可根據實時溫度自動調節 30%-100% 輸出功率。

       設備運行測試階段,專利蒸發冷凝技術展現顯著優勢。循環水在多層波紋濕簾表面形成均勻水膜,空氣穿過時發生等焓加濕降溫,此過程可降低進風溫度5-8℃。預冷后的空氣進入全封閉渦旋壓縮系統,通過電子膨脹閥實現 0.1℃精度調節,最終經特殊設計的導流風口以層流形式均勻覆蓋生產區域。十分鐘后,分布車間各處的溫濕度傳感器顯示,整體溫度從 35 平穩降至 24.4℃

蒸發冷省電空調-臥式射流機設備

蒸發冷省電空調-臥式射流機 設備

       實際運行數據顯示,該系統綜合能效比達到4.2。設備群組通過變頻技術實現智能聯動,根據生產節奏動態調整制冷量輸出,單日峰值用電量較改造前下降37% 。全封閉式機組具備IP54 防護等級,有效阻隔粉塵侵入,其搭載的降噪組件使運行噪聲實測值保持在65分貝以下。

半導體生產車間整體控溫降溫,應用工業蒸發冷省電空調臥式射流機

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       客戶非常滿意驗收結果,特別指出蒸發冷省電空調-臥式射流機 設備 在潔凈室環境中表現出色 ,溫濕度控制精度完全滿足半導體生產工藝要求。后期追蹤表明,持續運行期間設備維護成本降低40% 。這項解決方案不僅解決了高精度制造環境控制難題,更通過能源效率提升為企業創造可觀經濟效益,為工業制冷領域提供可借鑒的綠色轉型范例。

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